电子特气是工业特种气体中的高端产品，是集成电路、显示面板、光伏、LED照明等行业必需的支撑性材料。根据《战略性新兴产业分类（2024）》，电子气体分为电子特种气体和电子大宗气体。电子特气广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。在晶圆制造过程中，电子特气占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节。

国家将电子特气列为“卡脖子”技术，给予资金、税收等扶持。例如，国家“十四五”规划将电子特种气体列为重点突破领域。全国人大代表郭建增建议，进一步加大对电子特气产业扶持力度，保障国家集成电路产业链的安全，包括加强产业规划、统筹产能布局、支持企业通过多种方式拓宽技术来源等。此外，工业和信息化部下达相关行业标准制修订项目计划，如《电子级乙硅烷》行业标准获批立项，有助于规范产品质量，支撑国内半导体产业链发展。

根据和仕咨询研究中心发布的《中国电子特气行业深度调研及投资前景预测报告》显示：根据和仕咨询集团数据，2024年中国电子特气市场规模已突破450亿元，年复合增长率达12.3%，预计2030年将突破900亿元。从应用领域需求占比来看，全球电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的71%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的18%；在中国，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的42%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的37%。

龙头企业动态

-华特气体：作为特种气体行业龙头之一，华特气体已切入中芯国际、长江存储等头部厂商供应链。2024年，公司实现营业收入13.95亿元，净利润1.85亿元，同比增加7.99%。公司拟向全体股东每10股派发现金红利6元。公司正加速高端气体研发，如极紫外光刻气，同时布局半导体前驱体材料、电子级二氧化碳等新品，并计划通过并购或合作拓展东南亚、欧洲市场。

-中船特气：作为中船集团旗下的电子特气企业，2024年中船特气实现营业收入19.29亿元，较上年同期上升19.33%，其中电子特种气体营业收入同比增长14.07%。2025年一季度，公司实现营业收入5.16亿元，同比增长17.08%。2024年公司攻克了电子特气吸附精馏技术等6项技术，新研发了包括高纯三甲基硅烷等在内的27种产品，并新设立韩国、日本办事处，完善服务中心建设。

和仕咨询行业分析人士表示：

-技术趋势：电子特气将向超纯化、智能化、绿色化方向发展。芯片制程微缩推动电子特气纯度向“10N级”迈进，生产与供应从“人工控制”向“AI赋能”转型，同时绿色制造成为行业共识，企业通过节能技术、废气回收等手段降低能耗与碳排放。

-需求驱动：一方面，集成电路行业向7纳米及以下先进制程发展，对电子特气的需求不断增加，预计到2030年，7纳米及以下制程对电子特气的需求占比将从2024年的35%提升至60%。另一方面，新兴应用领域如第三代半导体、光伏、氢能等对电子特气的需求增速显著，2024年新兴应用领域对电子特气的需求增速达25%，预计2030年将突破200亿元。

-国产替代趋势：随着国内半导体厂商产能释放，叠加政策支持，国产电子特气市场占有率从2020年的15%提升至2024年的28%，预计2030年将突破50%，国产替代已从“政策驱动”转向“市场驱动”。